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在线AOI（宜美智）
功能原理：通过高清CCD摄像头自动扫描工件产品采集图像，与数据库合格参数对比，经图像处理检查缺陷并显示/标示。
技术参数：线速8pnl/min，生产板厚0.4 - 3.5mm，线宽/线距最小2.5mil/2.5mil（蚀刻后上幅线宽线距），工件尺寸710mm * 610mm。
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外层LDI连线（源卓）
功能原理：利用计算机CAM软件将电路图形转化为图像生成程序，激光光束经空间光调制器生成图像，通过光学成像系统投射到涂有感光材料的基板上完成图形曝光。
技术参数：曝光台面为上下双台面曝光，解析度L/S极限35μm、量产45μm，对位精度±10μm，产能为DI内层专用油墨8片/min、DI外层专用油墨7.5片/min，工件尺寸710mm * 610mm。
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